潽拓——{精}，分子泵
广州潽拓，EPX180L 半导体干式真空泵 EPX180L维修保养
主要特性和优势
占地面积小且重量轻 - 作为可用的 工具上泵之一，EPX 显著节省了 占地面积。铝制构造使其重量轻巧，增加了安装 选项。EPX 可以直接安装到工具上，从而节省了前级管道和 安装成本，如果需要也可远程使用。
受zhuanli保护的独特泵机构 - EPX 可以从大气压抽空到 UHV 级基准压力并可在所有入口压力下连续运转。
超清洁机构 - 传统的高真空轴承使用油脂润滑，这可能成为制程 工具中污染源。EPX 泵没有高真空轴承油脂，并且不存在 任何其他的潜在污染源。
非常可靠 - EPX 具有大约 13 年的 MTBFp (SEMI E10)，通常 每 5 年维修一次，zui大程度地延长了泵的 使用寿命。
运转时的噪声低至 56 dB(A)，可在洁净室内实现低噪声。
潽拓——爱德华真空机械泵，分子泵
广州潽拓专业维修分子泵，爱德华Edwards Ext 75dx iso100复合泵维修保养
性能特点
兼容TIC涡轮仪表控制器。
多种通讯模式。
并口，用于传统控制信号接口。
串口，用于RS-232接口。
通过RS-232接口，用户可以设置各种参数RS-232。
正常泵速显示。
准备转速显示。
泵温。
增强型泵速、功耗、温度监测。
潽拓——爱德华真空机械泵，分子泵
维修爱德华 Edwards stp-a3003k1 涡轮真空泵
潽拓光电——代理及维修的分子泵维修品牌有：
法国阿尔卡特：Alcatel Adixen
英国爱德华：BOC Edwards
日本精工，岛津，大阪及荏原 ： Seiko Seiki Shimadzu Osaka Ebara
德国莱宝，普发： Oerlikon leybold Pfeiffer Balazer
意大利瓦里安： Varian
我们具备完整的测试设备，可以测试分子泵的启动时间，转速，噪音，极限真空值，渗漏率等相关数据，
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